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非接触チャックシステム（半導体向け）
搬送用シリコンウェハ（小口径ウェハ向け）
MgB2超伝導ワイヤー
低屈折率接着材・コーティング材
極低温冷却機器
電気二重層コンデンサー瞬低保護装置
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